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Ein selfmade - CVD - multifunktions - System), die mit induktiv verkoppeltes plasma source und Puls glow discharge - quelle Guter Qualität hergestellt aus amorphem silizium - dünnschicht - und diamanten - film (aus amorphem kohlenstoff - Film EIN) und die quelle flugzeug - kapazität im Vergleich mit der ICP - quelle einfache Geräte MIT niedrigen kosten, und auf Druck von weniger ALS 10 Pa Bedingungen nicht weniger ALS 1011cm-3 aus high - density -, geeignet für schnelle ablagerung in komplexen substrat großen sogar filme.HF - frequenz von 13,56 MHz, die für die ICP - quelle in der vorbereitung polyimide substrat aus amorphem silizium - dünnschicht -, die HF - energie, gas, Strom, negative vorurteile und andere Experimentelle parameter für die hydrierung abschmelzleistung Einfluss.Optimierung der parameter für die experimente zeigen, dass bei der reaktion der luftdruck 5 pa, temperatur 1508), HF - Leistung von 400 W, vorurteile, negative 1,5 kV und der gasdurchsatz 80 sccm, die aussage von Bis zu 3,5 nm/s IST 10 - Mal mehr Günstige Timberland Boots ALS der kapazitive kopplung pecvd, und der film zeigt Gute amorphen und film - bindungskapazität.Die multifunktionale Systeme MIT Puls glow discharge - quelle, in der phase der Titan - wafer hergestellt - film, die Raman - spektroskopie, nano - eindringkörper, scratch Timberland Stiefel Damen Beige tester - tribometer, wurden filme MIT negativen vorurteilen über die Struktur, die härte der filme, BASIS eine Kraft, reibung. Einfluss.Die Ergebnisse zeigen, dass, wenn C2H2/Ar - verhältnis von 20 sccm/30 sccm, Druck von 6 pa, MIT negativen vorurteilen auf 3000 V, Diamond den höchsten anteil der SP3, härte bis zu 36.451 GPA, negative vorurteile weiter zu erhöhen, was zu schweren film Timberland Schuhe Outlet eingebracht, härte Schnell AB, die BASIS verbindlich für die Hohe Qualität reduziert, diamant - filme in vorbereitung.
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